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发布时间：2013-01-01 01:33:22
洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：
(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大；
(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层；
(5)经济性考虑：过大的气流速度造成***及运行费用的增加，合适的气流速度为以上诸因素合理的综合，过大往往不必要，亦不一定有效果；
(6)对洁净度要求低的洁净室，有时换气次数决定于室内排热的要求。
以上因素，皆很难量化，只能分析对比并估计。因此在工程应用中，对洁净室的气流速度往往参照有关规范、导则等的推荐或参考值，再按具体情况估计以上各影响因素进行综合考虑后确定。
注：1、ISO14644-4对于气流速度/换气次数是明确作为参考资料的，表中所列仅适用于微电子及IC工厂；对制药厂只列ISO5级气流速度>0.2m/s，对ISO6～8级皆未列出参考值。
2、(M)指混合流，N指非单向流；*指对污染源已采取有效的隔离措施的洁净区。
近年来不少人通过实验认为这些推荐或参考值过于保守，其论点可归纳为：
(a)室内发尘量较高时，末级过滤器效率的变化对洁净度影响甚微，因此在这种情况下，过高的过滤效率是无必要的。
(b)室内发生尘量较低的情况下，采用低的气流速度下，末级过滤器效率的变速器变化，对洁净度的影响增大。
当前有的IC工厂其ISO5级(0.3μm)的洁净室，采用FFU系统,带ULPA(99.9995%,0.12μm)，出口风速为0.38m/s，其满布率为25%，这样室内平均气流速度为0.095m/s，在各有关推荐或参考值的下限下。此洁净室的工艺加工在微环境内洁净室内的人员亦较少，可以认为洁净室内发生较低，这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。
据报道，目前IEST对洁净室内气流速度推荐值的下限有所降低，如：
FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是：
(3)但FF瓣出口静压不能过大，一般采用出口风速成0.38m/s，此时其静压一般在250Pa以内。
(3)洁净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。
(3)一般FFU系统由于单位风量的能耗较大，因此洁净室的冷负荷亦相应增加。
(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。
(2)洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用FFU，当前还是不经济的；对小系统有意义作具体比较。
C——沸点高于室温能在光洁表面冷凝的物质，主要是碳氢化合物，某些工艺加工环境中的水蒸汽亦需要考虑；
D——掺杂物质，能为园片表面吸附或与表面相互反应的物质，如***、硼、磷等。
为满足φ300mm园片，＜0.15mm线宽的加工要求，近年来对AMC控制，***在以下三方面开展工作：
(1)***的测量技术及标准测试方法的建立。因为这是掌握AMC控制的基础，必须***；
近年来尤其是近2～3年来，对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展；
a.低硼超细玻璃纤维过滤器，现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多；
b.多孔聚四氟乙稀(ePTFE)过滤器，为薄膜结构，价格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多，正在开发下一代的。
a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
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