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发布时间：2013-01-01 12:23:29
对洁净室常用的压差控制方法进行归纳及讨论，并对其适用性等进行分析
关键词 :压差控制 定风量控制 直接压力控制 闭环控制 余压阀 定风量阀
洁净室的送入风量与排出风量+压差风量(余风量)之间达到平衡便建立压差，这里的排出风量包括：需排往室外的排风量及回风量。
因此，洁净室压差建立的调整，都应体现新风量与排风量+压差风量之间的平衡：
(1)对直流系统，送入一定的风量，调节排风量至压差值的建立；
(2)对循环系统， 送入一定的风量， 一般可按要求调整排风量，然后调节回风量，建立压差值；
(3)当某些洁净室无单独排风量，则调节回风量至压差值的建立。
洁净室送入风量要求一定，因此不能作为控制的变量。但对有的生物安全等实验室而言，不要求保持洁净室级别的一定，送风设***过滤器，主要是为了延长排风***过滤器的使用寿命，因此送风量可作为压差控制的变量。
(1)HVAC系统阻力变化，主要是过滤器阻力的变化，会引起送风量的变化，影响室内压差的波动。
(2)室外风压的变化(室外风向及风速等引起)，会影响洁净室的压差风量，引起室内压差的波动。
为防止反向流的出现，则流经门的空气速度应>0.2m/s(ISO 14644-4中提及的维持低压差时所需的气流速度)；在工程中，国外常采用0.25m/s～0.5m/s的气流速度。
图1为国外有关研究的资料[1] ——门开着时，所需的隔离风量亦即所需流经门的风量，在此风量下才能保持低压差而无反向流出现。
对其控制较不容易，需采用闭环控制。在采用定风量控制时，常须采用设置缓冲室或气闸来处理。
(4)洁净室工艺排风的变化必然带来压差的波动，而排风量的变化有时是较大的，此时为不使室内压差波动，不使引起反向流，需要采用闭环控制。
当前，洁净室常用的压差控制方法基本是两类。一类是所谓的静态控制，即定风量控制，另一类是所谓的动态控制，即是以“直接压力”控制的闭环控制系统以及余压阀控制。
其特点是：在洁净室门关闭情况下，使送风(新风+回风)=回风+排风+压差风量，建立压差值；除压差风量外，其余各风量都维持一定。
定风量控制方式不能解决工艺排风量的变化及门的启、闭对压差的干扰， 即在这些情况下要出现反向流。因此其采用的前提是：
(1)排风量要求一定，或至少一段时期内是一定的，以后变化时重新调整之；
(3)采用缓冲室或气闸，必要时增加其换气次数，使气闸较快***并保持其要求的洁净度；或虽无缓冲室等的相邻空间即使出现反向流时，对加工或处理对象不会出现明显的影响。
人工调整好压差值后，锁定送、回、排送风阀，当系统阻力变化时需再重新调整之。系统简单，操作维护方便。
基本的是在洁净室的送风管、回风管及排风管上各设定风量阀，亦有只在送风管、排风管上设置，而回风管上不设，当然以前者为好，但***更大些。
另外， 目前***室不少是采用定风量阀的压差控制方式，它是主要基于***室***台上方为集中均流送风，能较好防止周边区污染物的进入，且周边区的微生物浓度也不比洁净走廊为好的认识。
当前工业洁净室的闭环控制，常采用“直接压力” 控制，即以室内压差的维持控制新风或回风或排风作为变量。
闭环控制可以应对：
它主要是控制不出现反向流，但对压力波动有一定范围，这对洁净室已经满足要求。
此控制方式，目前常用于排风变化的洁净室以及门启闭频繁等而不宜设缓冲室或气闸的洁净室。
它适用于一个HVAC系统对一个洁净室的情况，控制较直接，当有采用新风机组时，一般宜采用变速风机以实现节能，尤其是新风量变化较大时。
当前电子工业、半导体、集成电路工厂较多的采用这种控制方式。图2-5是其常用的几种以新风作变量控气室内压差的HVAC系统示意图。
此种控制方式， 见图6，一般多适用于一个HVAC系统对多个活净室的情况，由于风管布置及接管等情况，控制回风较控制新风更易合理实现。
以回风作变量控制洁净室压差时，在HVAC系统的送、回风机的风量上***终是要满足新风量=排风量+压差风量。因此常以送、回风风机的压差或其风量差自动控制新风阀来调节风量。
它的特点是送、回风系统可以是定风量运行，一般可不设自动调节风机风量的装置；排风风机则视情况宜采用变速风机以节能。
正压送风系统见图8，主要用于***室的压差控制，正压新风采用二级过滤后通过调节阀送入各洁净室，调节阀由室内压差的维持，调节送人的正压风量。
此系统的正压风量完全***于HVAC系统的风量，易于控制，尤其是对不工作的***室， 只要送入所需压差风量的正压新风外，HVAC系统可不工作。***正压风机宜采用变速风机以达节能的目的。
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