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发布时间:2013-01-01 12:34:44
这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。定期进行这项检测。
为防止污染物透过围护结构缝隙***洁净室,洁净室及洁净设施的围护结构应有良好的气密性,同时和不清洁的周边环境要维持一定的正压差。洁净室的正压是靠送风Qs与回风Qr和排风Qe的差值实现的。
当洁净室相对于周边环境具有⊿P的正压差,则通过洁净室的缝隙、开孔外溢的气流量Ql为:
正压值越高,缝隙或孔口的合计面积越大,则泄漏风量也越多。过多的无效泄漏风量将增大受控环境的能耗,因此应关注其气密性,在维持必要压差条件下减低其泄漏风量。
所测的压差一般很小,测量方法不正确很容易造成读数错误。鉴于此,应考虑下列措施:
测点设在洁净室***,远离可能影响测点局部压力的送风口和回风口。
洁净室施工及验收规范并对ISO 5级以上的单向流洁净室有如下规定:洁净度高于5级的单向流洁净室在开门状态下,在出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。
膜片压力计用金属膜片作为弹性元件,因此所测压力不高。仪表安装位置与测量点的距离越近越好,一般不宜超过50m。仪表应安装在室内,环境温度应在-40~+60℃范围内,相对湿度不宜大于80%。
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